潔凈室分類的原因：

(1)潔凈室的定義

潔凈室，又稱潔凈室或潔凈室。

潔凈室是指為消除一定空間范圍內(nèi)空氣中的顆粒物、有害空氣、細菌等污染物，將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、風(fēng)速和氣流組織、噪聲和振動、照明、靜電等控制在一定需求范圍內(nèi)而專門設(shè)計的房間。也就是說，無論外界空氣條件如何變化，房間都能具有保持原有的潔凈度、溫度、濕度、壓力等性能的特性。

潔凈室最重要的功能是控制產(chǎn)品(如硅片等)所處環(huán)境的潔凈度和溫濕度。)都是暴露的，這樣產(chǎn)品就可以在一個良好的環(huán)境空間里生產(chǎn)制造，我們稱之為潔凈室。

潔凈室等級劃分的原因：(2)潔凈室等級

世界各國都有自己定義的規(guī)范，但一般以美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為最。

美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D采用英制每立方英尺，日本采用公制，即單位為每立方米，以0.1m顆粒為計數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)符號由1級、2級、3級表示.八班。成績最好的是1班，最差的是8班。它是將每立方米的塵粒總數(shù)換算成10的次方，取其指數(shù)而得。

潔凈室分類的理由：(3)潔凈室控制項目

1.清除空氣中的灰塵顆粒。

2.它可以防止灰塵顆粒的產(chǎn)生。

3.溫度和濕度控制。

4.壓力調(diào)節(jié)。

5.消除有害氣體。

6.結(jié)構(gòu)和隔間的氣密性。

7.靜電防護。

8.防止電磁干擾。

9.安全考慮。

10.節(jié)能的考慮。

潔凈室分類的理由：(4)潔凈室的分類

1.亂流：空氣從空調(diào)箱通過潔凈室的風(fēng)管和空氣過濾器進入潔凈室，由潔凈室兩側(cè)的隔斷墻板或高架地板回流。氣流以非線性方式運動，并處于不規(guī)則的湍流或渦流狀態(tài)。該類型適用于1000-100000級潔凈室。

2.分層流動：分層氣流成均勻直線流動，空氣通過覆蓋率為100%的過濾器進入室內(nèi)，由兩側(cè)高架地板或隔板返回。該類型適用于潔凈室級別需要較高的環(huán)境，一般潔凈室級別為1~100級。它可以分為兩種類型：

(1)水平層流：水平空氣從過濾器向一個方向吹出，由對面墻上的回風(fēng)系統(tǒng)送回。粉塵隨風(fēng)向外排放，下游側(cè)污染普遍嚴(yán)重。

(2)垂直層流：房間天花板完全覆蓋一層過濾網(wǎng)，空氣自上而下吹，可以獲得更高的潔凈度。在過程中或由工人產(chǎn)生的灰塵可以快速排出到外面，而不影響其他工作區(qū)域。

3.復(fù)合類型：

復(fù)合型是湍流和層流的結(jié)合或組合，可以提供局部超凈空氣。

(1)潔凈隧道：HEPA或ULPA過濾器100%覆蓋工藝區(qū)或工作區(qū)，可將潔凈度提高到10級以上，節(jié)省安裝和運行費用。這種類型需要將操作人員的工作區(qū)域與產(chǎn)品和機器的維修分開，避免在機器維修過程中影響工作和質(zhì)量。這種類型主要用于ULSI工藝。

(2)清潔管道：對產(chǎn)品流經(jīng)過的自動化生產(chǎn)線進行環(huán)繞凈化，將潔凈度等級提高到100以上。由于產(chǎn)品與工人和多塵環(huán)境隔離，少量送風(fēng)即可達到良好的潔凈度，節(jié)約能源，不需要人工操作的自動化生產(chǎn)線最適合使用。適用于制藥、食品和半導(dǎo)體行業(yè)。

(3)并聯(lián)安裝局部潔凈室：潔凈室級別為10000 ~ 100000的湍流潔凈室中產(chǎn)品工藝區(qū)潔凈度級別提高到10 ~ 1000以上用于生產(chǎn)；潔凈工作臺、潔凈工棚、潔凈空氣柜都屬于這一類。